自動ウエハーフィルム貼付機は、その優れた性能から欠かせない設備となっています。全体の寸法は1700x1300x1850mmです。コンパクトな設計により、スペースを節約できるだけでなく、既存の生産ラインのレイアウトへの統合も容易になります。
このフィルム貼付機は、高効率の生産能力を備えており、1 時間あたり 45 枚のウェーハ(UPH)を処理できるため、生産効率が大幅に向上し、大規模生産の需要に対応できます。- 8インチから12インチまでのサイズのウェーハに適しており、さまざまな半導体ウェーハ仕様に対応できます。ウェハ厚さの範囲は150~900μmであり、異なる厚さのウェハに安定して対応でき、フィルム貼付工程における互換性と信頼性を確保します。
精度管理に関しては、ウエハ載置精度は±0.2mmです。高度な位置決め技術と精密な制御システムにより、フィルムの正確な貼り付けが保証され、フィルムの位置ずれによる欠陥を効果的に防止し、高品質の生産が保証されます。-
この装置は AC 220V、25A 電源で動作し、安定した電力を供給して継続的な動作を保証します。プラットフォームの最大加熱温度は80度に達することができ、さまざまなフィルム貼り付けプロセスの要件を満たすように調整でき、フィルム貼り付け効果を最適化できます。さらに、ソースガスとして CDA を使用することで、装置の動作に安定した電力が確保され、プロセス全体でスムーズな動作が維持されます。
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装置サイズ |
1700×1300×1850(mm) |
UPH |
45個 |
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適用ウェーハサイズ |
8-12" |
ウェーハ配置精度 |
±0.2mm |
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適用ウェーハ厚さ |
150-900um |
電源 |
AC220V、25A |
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プラットフォーム加熱温度 |
最大80度 |
原料ガス |
CDA |
製品の特徴と用途
- 高い機械的位置決め精度
- 高精度、制御可能な張力、調整可能な切断角度
- 迅速かつ簡単な製品変換
- コンパクトな設計と小さな設置面積
- 高いテーピング精度を実現する位置決め装置
- SECS/GEM
制作内容
内部レイアウト

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